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質量流量控制器(MFC)的工作壓差范圍是什么?需要注意些什么?

發布日期:2021-01-25 

      質量流量控制器(又稱MFC)中設置有一個氣體流量調節閥門,閥門能使通過控制器的流量從零調節到測量的滿量程,在工作的過程當中,控制器的入口和出口之間會產生一個氣壓降,即壓差。




MFC的工作壓差范圍

      MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa,若壓差低于最低值(0.1 MPa),有可能控制達不到滿量程值;若高于最高值(0.3MPa),有可能關閉時流量不能小于2%F.S。


用戶使用MFC需要注意:

      用戶使用MFC時,無論用戶工作的反應室是真空還是高壓,應做到使MFC進出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內,并且要求氣壓要相對穩定。


用戶使用揮發性液體蒸發汽需要注意:

  部分用戶使用揮發性液體蒸發汽做氣源,氣壓很低,用普通MFC,不能正常工作。這時用戶需要向供貨商特別聲明,定制低壓降的質量流量控制器。通??梢远ㄖ乒ぷ鲏翰畹陀?.01MPa的MFC,這時MFC的工作壓差范圍,也會變小。


      注意使用揮發性液體蒸發汽時,不能讓汽化物在MFC中結露,結露會影響MFC的正常工作。為了防止結露,可以對管路和MFC適當加溫,但MFC的工作環境溫度通常不得超過50℃。如果用戶要MFC的工作環境溫度超過65℃以上,需要特殊購買高溫MFC產品。

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